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光刻机_雕刻机_曝光系统

12纳米光刻机,1.2亿美金一台!EUV光刻机到底难在哪里?

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为了让激光束能以极大的功率稳定传输,系统的复杂性可想而知

事实上,EUV的激光系统就有大约45万个零件,重约17吨,线缆长度超过 7000 米

其中高达20kW的二氧化碳激光器所需电源功率达到了200kW,但即使这样,它的最终效率也才只有5.5%

那么阿斯麦光刻机,凭什么能卖那么贵?光刻制造难点熟悉《星球大战》的朋友都知道光剑吧,在那个主题设定里,光剑可是一种高科技武器

同样,在光刻机里,也有一把“光剑”,它能在晶圆上刻画芯片电路这是芯片生产基础也最关键的一环

回来就试了一下,挺好,声音超级小,耳朵贴上去才能听到声音,好评!东西不错物美价廉关键是在也不用担心坏了来回@京东上门换新这点我非常喜欢

是不是看起来,阿斯麦公司更像一个系统集成商?但是,如果想要组装一台光刻机,也不是随便哪个厂商能做到的

比如光刻机里的镜头,在组装过程中,为了达到仪器能够检测、分辨最小

需要将多达数十个光学镜面按照设计要求严格排列,每一个透镜的位置、姿态、间距都有严格的要求

12纳米光刻机

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1.2亿美金一台!EUV光刻机到底在哪里?

12纳米光刻机,1.2亿美金一台!EUV光刻机到底难在哪里?

这玩意有多复杂?一台EUV光刻机重达180吨,零部件高达10万多个,超过2公里以上的软管,需要40个集装箱来运输,仅安装调试就需要一年左右

而且85%以上的材料,都来自全球超过5000家供应商

比如它里面就用到了德国蔡司镜头,日本的特殊复合材料,瑞典的精密机床,美国的先进控制软件光源等,都是业内顶尖技术水平

而且同一个液滴需要在极端时间内被连续轰击两次,第一冲击是将它压平,第二次冲击是将它汽化,使之成为发光的等离子体,这样才能产生足够强度的极紫外

更重要的是,轰击所产生的光转瞬即逝,因此需要每秒钟轰击约五万次,才能保证光的持续性

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