尽管ASML作为目前占据主导地位的光刻机厂商，凭借独有的EUV光刻机一骑绝尘，主导着半数以上的市场份额，但这并不代表着其他光刻机厂商也就“听天由命”了
以两大国外光刻机厂商尼康和佳能为例，他们就仍在坚持开发并扩展自己的光刻机业务
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虽然仍在概念阶段，但从论文上看基于该技术打造的光刻系统可以做到10nm的分辨率，0.4的数值孔径和200晶圆/小时以上的吞吐量，这样的参数甚至可以与ASML正在制造的高NA EUV光刻机一较高下了
不过要想造出这样的机器光有概念可不够，与之相关的元件与设备生态都得建立起来才行
读盘速度：快 读盘声音：小 稳定性能：相当好 轻薄程度：都是这个尺寸 外形外观：工艺精湛 产品包装：很好
好久不用光驱了，特殊用途还是有必要的。而且这个性价比比较高 产品包装：这个包装很大气啊，盒子也很大，里面是再生原料减震，看着不错。 外形外观：外观简洁大方，成熟稳重 轻薄程度：正常尺寸的三围 读盘速度：速度平稳，读盘不错 读盘声音：声音还好 稳定性能：目前稳定
对于特征尺寸为1um的光刻机
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虽然分辨率不高，但佳能正在以纳米压印技术打造下一代nm级的光刻机，以该技术打造的光刻系统制造成本将比EUV低40%，同时将运行功耗90%
不过这类设备目前仍在研发中，从目前已经展示的结果来看，还只能做到10nm工艺的图形化
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尼康尼康的光刻机产品阵容比较全面，包括ArF浸没式扫描光刻机、ArF步进扫描光刻机、KrF扫描光刻机、i线步进式光刻机和FPD面板光刻机，基本涵盖了除EUV以外的主流光刻机
其中最新的NSR-S635E为ArF浸没式扫描光刻机，可以做到小于等于38nm的分辨率，1.35的数值孔径和大于275晶圆/小时的吞吐量
除ASML之外的光刻机厂商们近况如何?
从尼康最新季度的财报来看，由于工厂建设的投入被推迟，FPD光刻系统市场有所下滑，所以销量有所降低，上季度只卖出了6台FPD光刻机，6台i线光刻机、1台KrF光刻机和1台ArF浸没式光刻机
由于ArF光刻机仍有着较为强劲的需求，所以尼康仍然看好这一市场的未来趋势，目前核心客户因为人员短缺或能源供应等问题，只是在交付上有所推迟
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