目前ASML的前三大股东均来自美国,合计掌握ASML近30%的股权,美国加速实现对ASML的资本和技术双控制
截止2020年末,ASML的EUV中有90%零部件来自进口,而且根据ASML加入EUV LLC的承诺,美国零部件需占比55%以上,并接受定期审查
天眼查数据显示,继2021年6月,华为旗下的哈勃投资公司入股中科院微电子所控股、国内第一的193nm ArF准分子激光器光源系统企业“北京科益虹源”之后,今年4月,华为哈勃再度投资光源相关产业,入股光电模块零部件公司“微源光子(深圳)科技”
其间,唐·格雷夫斯还到访了ASML位于荷兰总部并会见了公司CEO彼得·温宁克
不过,此前温宁克曾表明过态度:反对禁止向中国出口DUV光刻机
报道还称,美国也在努力向日本施压,要求ASML对手——日本尼康等企业停止向中国芯片制造企业交付光刻技术
中国光刻机被卡脖子
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对芯片国产化影响有多大?|硅基世界
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不久后,荷兰就决定ASML的出口许可证不予续期,而之前计划好向中芯国际出口的一台价值1.5亿美元的光刻机,至今也没有发货
今年5月底至6月初,美国商务部副部长唐·格雷夫斯在访问荷兰和比利时期间讨论供应链问题时提出禁止对中国企业销售DUV光刻机的要求
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1997年,ASML加入英特尔和美国政府牵头成立的EUV LLC联盟当中
该联盟汇聚了美国顶尖的研究资源和芯片巨头,包括IBM、AMD、摩托罗拉等,集中数百位顶尖科学家,共同研究EUV光刻技术
随后在2007年起,ASML陆续收购美国Brion、Cymer、HMI等公司,增强了在光刻、光源、电子束检测等方面的技术储备,从而能够开展EUV技术攻克