以光刻机巨头荷兰阿斯麦公司制造的EUV极紫光刻机为例，其就继承了美国、日本和德国等多个国家的技术
目前光刻机几乎被阿斯麦公司一家垄断，高端光刻机领域，阿斯麦公司的市场占有率超过90%
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像阿斯麦公司的光刻机，一般附带有计算光刻设备，但是如果芯片代工巨头不满意，也可以选择第三方企业提供的计算光刻设备
也就是说，在计算光刻技术领域，东方晶源与阿斯麦是竞争对手
而阿斯麦公司在财报中提及的与东方晶源存在关联的美国公司XTAL，是由两名有着阿斯麦公司背景的技术人员创建
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众所周知，制造半导体离不开光刻机，而光刻机是人类文明智慧的结晶，有着“光学工业之花”以及“半导体工业皇冠之上的明珠”等诸多美称，上述美称集中反映了制造光刻机的技术难度
据悉，光刻机的制造涉及精密光学，超高分辨率仪器、自动化工业设计软件、高分子物理与化学等当今最为前沿的科学技术
被其污蔑侵权
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近日，光刻机巨头阿斯麦公司在2021年财报中宣称，中国企业东方晶源在中国内地销售的产品，涉嫌侵犯阿斯麦公司的知识产权
阿斯麦公司表示，他们将密切关注中企的动态，如果有确凿证据显示其侵犯公司知识产权，将对其提起诉讼
资料显示，成立于2014年的东方晶源，主营业务为集成电路良品率管理，旗下产品包括纳米级电子束缺陷检测装备、关键尺寸量测装备、计算光刻产品以及微电子设计与制造智能良率优化设备等
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东方晶源一位负责人向媒体表示，公司所有的产品和技术均是自主研发，水平处于国内领先地位
其中研发出来的计算光刻产品，在半导体的生产过程中有着极为广泛的运用
业内一位人士向媒体表示，计算光刻技术可以显著提升芯片的良品率和质量
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