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中国作为目前世界上的第二大经济体,在很多高精尖领域都引领着技术的发展,但有一样象征着工业强国的科技产品,我国始终无法完成自产,这就是EUV光刻机
光刻机的含金量目前全世界能够制造EUV光刻机的国家只有两个,荷兰和日本
光刻机的技术难点先进光刻机制造的第一个难点就是机器的光源问题,在EUV光刻机问世以前,DUV光刻机是世界的主流,二者最大不同在与将DUV上193纳米的短波紫外线改为了13.5纳米的极紫外线,光刻机精度取得了跨越式发展
全世界仅2个国家掌握
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最大光刻机被烧
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目前荷日的光刻机都采用的固定操作台,对于这样一个精密机器,工作台也需要做到极高的精度,EUV光刻机采用高精度激光干涉仪,以便降低光刻机的位移干扰
总的来说,光刻机代表着人类机械加工的最高水平,对于一个国家的基础工业和精密加工技术都是极为严峻的考验
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EUV光刻机会使用二氧化碳激光不断轰击DUV上应用的金属锡原液,使其在激光下变为等离子状态,波长相比之前更短
这一技术不但考验机器的精加工能力,对于操控激光发射的软件也提出了艰巨的要求,别说我国,目前也只有荷兰掌握着成熟制造技术,其他发达国家都会向其采购预定,以提高本国技术水平
从目前的形势来看,我国弥补起这一领域的缺失还遥遥无期
我国目前的进展我国在这一领域的天赋和努力是受到世人肯定的,荷兰高科技学院的董事曾公开表示,如果不是美国卡脖子,中国在5纳米光刻机这一类别十年内就能赶上世界先进水平
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