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光刻机_雕刻机_曝光系统

最大光刻机被烧,全世界仅2个国家掌握

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中国作为目前世界上的第二大经济体,在很多高精尖领域引领着技术的发展,但有一样象征着工业强国的科技产品,我国始终无法完成自产,这就是EUV光刻机

   光刻机的含金量目前全世界能够制造EUV光刻机的国家只有两个荷兰和日本

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光刻机的技术难点先进光刻机制造的第一个难点就是机器光源问题,在EUV光刻机问世以前,DUV光刻机是世界的主流,二者最大不同在与将DUV上193纳米的短波紫外线改为了13.5纳米的极紫外线,光刻机精度取得了跨越式发展

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目前荷日的光刻机都采用的固定操作台,对于这样一个精密机器,工作台也需要做到极高的精度,EUV光刻机采用高精度激光干涉仪,以便降低光刻机的位移干扰

   总的来说,光刻机代表着人类机械加工的最高水平,对于一个国家的基础工业和精密加工技术都是极为严峻的考验

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   EUV光刻机会使用二氧化碳激光不断轰击DUV上应用的金属锡原液,使其在激光下变为等离子状态,波长相比之前更短

这一技术不但考验机器的精加工能力,对于操控激光发射的软件也提出了艰巨的要求,别说我国,目前也只有荷兰掌握着成熟制造技术,其他发达国家都会向其采购预定,以提高本国技术水平

从目前的形势来看,我国弥补起这一领域的缺失还遥遥无期

我国目前的进展我国在这一领域的天赋和努力是受到世人肯定的,荷兰高科技学院的董事曾公开表示,如果不是美国卡脖子,中国在5纳米光刻机这一类别十年内就能赶上世界先进水平

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