而此时国内刚刚启动193nm光刻机项目,落后国际水平20多年
经过5年的艰苦追赶,终于在2007年,上海微电子宣布研制出90nm光刻机
但是由于元器件大部分来自国外,西方立刻实行了禁运,导致无法量产
2008年,“02专项”启动,继续攻关,主攻高端光刻机技术,同时鉴于之前的教训,“02专项”的重点,还有提升材料和工艺等产业配套能力
做工不错,手感很好,刻录功能还没使用,应该用到的机会不多。平时主要用于读DVD盘,便携性很好。 纸盒包装上还有温馨提示,再次核对型号是否正确,方便退换货,很人性化。
2016 年,上海微电子90nm光刻机实现量产,华卓精科成功研制出两套双工作台样机,成为继阿斯麦之后,世界上第二家掌握这项技术的企业
至此,国产光刻机虽然还没有完全走出困境,但是经过20多年的艰难追赶,中国的光刻机乃至整个芯片产业,在吸取了之前的发展教训后,总算逐渐开花结果
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进入80年代后,国产光刻机研发捷报频传
1980年,清华大学徐端颐团队经过没日没夜的攻关,终于研制出分布式投影光刻机
1985年,中电科45所研制出的至此,中美光刻机技术差距不过7年
日后将称霸光刻机领域的阿斯麦,此时才刚刚诞生
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今天推荐一篇深度文章《封锁、逆境、曙光:国产光刻机的艰难往事》2018年,大洋彼岸的一则禁令,让国人感受到了一小颗芯片的力量
光刻机也逐渐成为热词,网上关于光刻机的讨论铺天盖地
在政策的大力支持下,芯片行业进入了海归创业和民企崛起的时代,国产光刻机事业再次艰难起步
此时,国际上光刻光源已经被困在193nm长达20年,最终台积电在2002年提出了浸入式光刻方案,阿斯麦也凭此击败尼康,成为新一代光刻机霸主
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国产光刻机的艰难往事
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荷兰光刻机给中国最新情况
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