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1961年,美国GCA公司成功制造出第一台接触式光刻机,再加上新中国建立初期,美国、英国等17个国家就成立了国际巴黎统筹委员会,主要是为了限制成员国向发展中国家出口物资和高新技术,中国也在封禁的行列之中
从“造不如买”到集中力量攻坚
伴随着晶体管的研发成功,我国相关的科研进度也飞速加快,然而“天公不作美”,尽管我国努力在向着光刻机制造产业前进,但仍然困难重重
而光刻机,也被该委员会列为尖端科技产品,对于中国实施禁运,此时的中国也正式遭遇第一次“高科技卡脖”
注:图片来自仪器信息网 然而自主研发光刻机并非想象中那么简单
据数据显示,制造一台光刻机的精密零件需求为数万颗,而世界目前最先进的极紫外EVU光刻机则需要零件多达十多万
如此多的数目以及极其精密的数据要求,就成为了光刻机最根本的需求基础,因此传统的制造基础便成为了光刻机技术突破的基础产业要求之一
虽然迫于美国的压力,荷兰无法向中国出售先进制程的光刻机,但庞大的中国市场,让ASML无法拒绝其诱惑力,数据统计显示,在2022年第一季度,ASML共交付62台光刻机,其中21台DUV都成功销往中国
【“求人”不如“求己”】 回顾中国的半导体行业,光刻机的技术发展历程可谓是曲曲折折,但这也无时无刻在警醒着中国,不能长期靠“外来力量”,究其根本还是要靠自己
读盘速度:读盘速度很快,并且很稳定。 读盘声音:声音有一些读盘机械转动的声音不是很大。 稳定性能:性能稳定可靠。大品牌的东西一直在用。 轻薄程度:台式机装机内置光驱的性价比最高的大品牌经典产品。是标准内置光驱的大小。 外形外观:金属外观,结构结实。 产品包装:产品包装牢固可靠完好。内置减震泡沫,防止磕碰。新款产品外包装印刷图案区别于老款。
读盘速度:读盘很快,速度很美,相当不错 读盘声音:很安静,振动也很小,不错! 稳定性能:长时间使用,经常用,能稳定运行两年多,前一个也是这一款! 轻薄程度:台式机用,厚度固定了,这个无所谓了! 外形外观:外形就那样,台式机光驱没有啥特别的外形! 产品包装:包装很好,外面是个纸箱,里面是商品的包装,有减震
后来国家为了解决这一难题,除了抓紧整机制造,还开始扶持一系列配套产业链的发展,在不懈努力下,光刻机产业也成功在2016年实现90nm的光刻机量产
同年,中国的清华大学团队和华卓精科成功研发了光刻机双工作台系统样机,至此中国光刻机技术水平达到除ASML外的“外国”同步水平
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