中企采购的光刻机已到货即便老美升级芯片规则,将制造设备限制到14nm以阻止ASML DUV光刻机进入大陆市场,但ASML依旧态度坚定:不仅重申ASML是欧洲企业,还表态对华出货基本不受影响
据悉该光刻机虽然不是EUV光刻机,但还属于中高端的DUV深紫外光刻机
重点是日本的企业一直有着一个优良传统,那就是垂直整合模式,技术自主、可控,不容易受到长臂管辖的约束,ASML再不行动,未来的市场竞争只能更加激烈
虽然EUV光刻机无法进入大陆市场,但打造高性能芯片的方式并非这一种,而中企近些年为实现这一目的也在另辟蹊径,比如华为的芯片堆叠技术,通富微电的芯粒技术,先进封装工艺也是提升芯片性能的有效方式
正是有了强将的加盟,镁光带来了自主研发的1β工艺,Zyvex Labs公司通过电子束光刻技术带来了号称“全球分辨率最高的亚纳米分辨率光刻系统” ZyvexLitho1,成功绕开了ASML的光刻机
此外,佳能等日企也想夺回曾经属于自己的市场,比如佳能宣布了自己的NIL光刻机,不仅能生产5nm芯片,同时研发、运行成本还更低
作为光刻机金字塔最顶尖的企业,ASML的成立本身就是早期西方资本从东芝、索尼口中夺食并垄断全球光刻机、芯片市场的产物
尤其当老美扯下“科技无国界”的遮羞布,ASML所扮演“棋子”的角色也愈发凸显
2018年中芯国际向ASML订购了一台EUV光刻机,因为受到禁令的限制,这台本应2019年就该到货的EUV光刻机至今没有交付,即便是二手渠道也被卡得死死的
电子束光刻机日本
ASML硬刚老美有什么目的?
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如今EUV光刻机无法进入大陆市场,我国已实现90nm精度光刻机的量产,如果ASML的DUV再无法对华出货,ASML在全球最大的芯片市场将颗粒无收
老美一方面通过技术专利限制ASML出货,另一方面不断从ASML挖高端人才补贴本地企业,美其名曰“盟友资源共享”,倒不如说这是削弱ASML的竞争力
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