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光刻机_雕刻机_曝光系统

国产光刻机如何突破,一台EUV光刻机

EUV有多耗电?由于EUV光源能源转换效率只有 0.02% 左右,所以输出功率只有250W的EUV光刻机,实际需要0.125万千瓦的电力,耗电量是DUV光刻机的10倍以上

这样下来,一台EUV一年耗电量可达到1000万千瓦时

国产光刻机如何突破

在绝大多数人的认知中,决定芯片工艺的,是EUV光刻机,是技术,毕竟7nm及以下工艺,必须要用EUV光刻机,如果ASML不卖给你,就“巧妇难为无米之炊”

但大家有没有想过,电力其实也是半导体竞争的重要一环?如果供电跟不上,空有EUV光刻机,空有技术,也没戏

国产光刻机如何突破,一台EUV光刻机

所以目前台湾省内很多媒体,对台积电也不太满,觉得岛内对台积电扶植过度了,毕竟台湾省幅员狭小、能源有限,而台积电高耗电、高耗水量,对居民用电、电水造成了紧张

同时目前台湾省本身资源紧张,电力供应紧张,新增的电量,很多往台积电倾斜了,还未必能够满足台积电未来产能扩张的需求,让大家对未来担忧

而台积电2021年拥有EUV光刻机近80台,这80台EUV光刻机直接用电8亿度,再加上间接用量(散热等设备),仅光刻机相关用量就超过10亿度,占到这191.9亿度电的5%+

考虑到台积电还在不断的推进5nm、3nm,需要更多的EUV光刻机,未来这个耗电量还会增加

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更重要的是,EUV光源能量转换率为0.02%,另外的99.98%电能会变成热量散发出去,又需要大量的设备来降温散热,这又要耗电

台积电的数据显示,2021年能源消耗量为191.9亿度,约占台湾的7.2%

深圳有1800万深住人口,2021年居民用电量也仅为165.5亿度左右,这就是说台积电的耗电量,可以让深圳的居民用一年

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一台EUV光刻机

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