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光刻机_雕刻机_曝光系统

ASML开始硬气了!中企首台光刻机正式搬入中国能生产光刻机光学镜头吗

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如果照此发展下去,也许将出现国产光刻机的辉煌

然而,受到了当时造不如买的思想冲击,加上《瓦森纳协定》的阻挠限制,国产光刻没能走进市场应用而落寞了

不过,到2000年时光刻机技术重新受到重视,之后还被列入到了国家专项科技攻关计划,2002年专注于光刻机的上海微电子成立,总经理贺荣明还带队到欧洲考察学习

全球各地的晶圆制造厂都要依赖ASML的中高端光刻机,这确实足以让ASML傲气十足

然而,随着形势的发展,ASML的态度开始转变了,对我们和对美方都在变化

光刻机是芯片制造过程中不可缺少的核心设备,它之所以被称为人类工业皇冠上的明珠,主要是因为它集成了全球多国多项最高端的技术,所要求的精准度非常之高

其实,ASML的态度也是如此,之前从来没想过我们能够做出光刻机

但上海微电子确实做到了,如今已经做了90nm的国产光刻机,这让国内关键部门不担心受限制

随着我们光刻相关技术的突破,ASML态度开始转变了,大陆可能会造成高端光刻机

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后来,ASML对EUV的限制出货也有些不满了,所以才会有了上边所说的这一段话

如今,美方对我们的芯片限制措施逐步收紧,又盯上了ASML的DUV光刻机,想要进一步扩大DUV出货限制

而ASML不能出货EUV给中企,就靠DUV来拓展市场了

其实,我国光刻机的起步并不晚,早在20世纪60年代,中科院就开始研究,1965年就研制出第一台接触式国产光刻机,1985年研发成功了第一台分布式投影光刻机

此时,ASML才成立一年之久,我国的光刻机水平跟国际先进水平的差距不到7年

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