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光刻机_雕刻机_曝光系统

中国产新一代光刻机,中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源

合适价格不贵,现在用刻录机的少了,市面上的刻录机良莠不齐,水货很多,质量也没有保证,考虑很久,还是不从实体店买了,这款目前使用很好,没出现刻录废碟,点赞

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中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源

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王丽萍教授2007年论文设计的2镜头MET曝光光学系统在这篇论文结尾,王丽萍写道:“根据我国阶段的技术基础研究目标,两镜微缩投影系统的研究仍为重点”

两镜头MET曝光工具性能两镜头MET曝光工具与量产型EUV光刻机具有本质的不同,它不具有生产能力

王丽萍研究生在读时,于2007年发表了1篇EUV光刻光学设计的论文,涉及两镜头微缩投影系统:《极紫外投影光刻两镜微缩投影系统的光学设计》

王丽萍2007年发表论文在这篇论文中,给出了一套MET工具的光学设计图,其数值孔径NA0.3,分辨力优于32nm、矩形视场为 300μm×500μm

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当然,作为实验性工具,MET也是在不断发展的,第一代MET工具NA0.3的数值孔径,对应于ASML的第一代NA0.33 EUV光刻机;第二代MET工具具有NA0.5的数值孔径,对应于ASML的第二代NA0.55EUV光刻机

2005年论文:美国加州伯克利劳伦斯实验室的NA0.3的MET工具在这篇论文里,我们可以清晰的看到MET工具CAD模型,它主要包括两个部分:1,从上部的同步辐射光源系统(From synchorotron)经过一个扫描单元传递至曝光装置;它相当于EUV光刻机的EUV光源系统;2,MET曝光系统主要包括从上到下的4个部分:光罩台、投影光学系统、晶圆台、照明台

因此,从工业化角度而言,我国开发EUV,即便是可以省略了四镜头的ETS工程验证机的环节,六镜头的ADT演示工具应该是目前合适的攻关环节

王丽萍教授的两镜头EUV投影系统设计王丽萍教授的履历表写道:2004年毕业长春理工大学后,于2004-2009年在中国科学院春光精密机械物理研究所攻读博士

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