美国加州劳伦斯伯克利实验室CXRO主任值得一提的是,2005年发表这篇论文的帕特里克·诺洛(Patrick Naulleau)当年是纽约州立大学的副教授,他现在是加州劳伦斯伯克利实验室CXRO的主管,CXRO实验室正在为下一代NA0.55 光刻机开发关键配套材料
因此,在大约十年时间里,长春光机所获得了突破性的进展 -- 两镜头MET工具的设计和制造能力,使得我们有机会进行下一阶段的六镜头EUV光学系统的设计和开发
而这也是篇首我们看到的王丽萍教授参与的六镜头投影系统设计和验证工作的基本背景
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读盘速度:很快,比以前家里的快多了。 读盘声音:声音小,也很正常。听到一直在读盘的声音感觉心里很踏实。先锋真的好牌子。 稳定性能:稳定好用,没有出现过问题。 轻薄程度:轻薄好拿。快递给我的时候掉到地上了,也没有摔坏。还很正常的用。 外形外观:外观好看。真的不错
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非常好用,安静,可以读取和刻录dvd-ram碟片,但我发现这款和华硕那款同价位的造型都一样,功能也一样,怀疑是同一间厂生产。
中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源
很好,已经第二次购买,能写入dvd-ram,数据安全有保障。先锋(Pioneer) 16X内置蓝光刻录机质量非常好 值得信赖 好评五星
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非常好,但刻录只有18速?,而且噪音很大,不过其他很好。不错的用来刻录CD机用的。很安静。没有噪音。稳定可靠。
先锋刻录机,15年了 始终在用这个牌子 真心好用。还不错!14年的老电脑!就机箱和光驱没有换过啦!这次还换先锋的光驱!物美价廉
德国蔡司的EUV光学系统实际上在ADT之前,美国开展了为期3年的工程验证机(ETS)研究,其采用的是四镜头曝光光学
所以更宽范围来说,过去30年的EUV光刻光学研究一共出现了5代形态
而高NA0.55EUV光学系统是从十年前便开始布局工业化,因此,我们从蔡司的产品迭代来看,我们与蔡司的技术代差实际上是放大了的
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王丽萍研究生在读时,于2007年发表了1篇EUV光刻光学设计的论文,涉及两镜头微缩投影系统:《极紫外投影光刻两镜微缩投影系统的光学设计》
王丽萍2007年发表论文在这篇论文中,给出了一套MET工具的光学设计图,其数值孔径NA0.3,分辨力优于32nm、矩形视场为 300μm×500μm
因此,从工业化角度而言,我国开发EUV,即便是可以省略了四镜头的ETS工程验证机的环节,六镜头的ADT演示工具应该是目前合适的攻关环节
王丽萍教授的两镜头EUV投影系统设计王丽萍教授的履历表写道:2004年毕业于长春理工大学后,于2004-2009年在中国科学院长春光学精密机械与物理研究所攻读博士
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