2005年美国加州劳伦斯伯克利实验室的NA0.3的MET工具因此，从这一非常具体的实例来作为比较，并且只从曝光工具的单一指标（我们忽略系统性工作能力、技术储备、制造工具储备等）而言，我们在2017年的02专项极紫外曝光光学的验收成果，接近2005年劳伦斯伯克利实验室的NA0.3的MET工具的曝光线宽
2005年论文：美国加州伯克利劳伦斯实验室的NA0.3的MET工具在这篇论文里，我们可以清晰的看到MET工具CAD模型，它主要包括两个部分：1，从上部的同步辐射光源系统（From synchorotron）经过一个扫描单元传递至曝光装置；它相当于EUV光刻机的EUV光源系统；2，MET曝光系统主要包括从上到下的4个部分：光罩台、投影光学系统、晶圆台、照明台
更令人注意的是一项2018年1月至2021年9月的新项目：六镜极紫外光刻投影物镜研发与验证, 参与, 国家任务, 2018-01--2021-09王丽萍教授的极紫外光刻研究活动值得注意的是，与上述六镜极紫外光刻投影物镜开发项目同时同期开展的，还有一个国家项目“极紫外光刻机核心子系统关键技术攻关”
可以的，声音小振动也小，支持的格式全面，试刻了一张CD很满意；还专门试了下DVD -RAM格式，也是支持读写的；颜值手感都很在线！就看寿命了，暂时是推荐购买的?
送货特快！下单后15小时收到货，包装完好，有防震包装，货品与图片介绍完全一致。播放图像清晰，流畅，色彩无失真。刻录效果待使用后再追加。
到货后马上拆机更换，读取速度也很快，刻录效果以后再试，一直用这个牌子，效果不错，东西还是不错，好用，就是包装盒是脏的，不舒服
光驱很漂亮，启动的声音很小，弹出非常平稳。希望能够用的时间久一些。读盘速度：很快读盘声音：声音小，几乎听不到产品包装：精美
中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源国望光学对光刻机研发
德国蔡司的EUV光学系统实际上在ADT之前，美国开展了为期3年的工程验证机（ETS）研究，其采用的是四镜头曝光光学
所以更宽范围来说，过去30年的EUV光刻光学研究一共出现了5代形态
而高NA0.55EUV光学系统是从十年前便开始布局工业化，因此，我们从蔡司的产品迭代来看，我们与蔡司的技术代差实际上是放大了的
物流速度很快，当天就到货了。性能也不错！十几年前的刻录盘都能读出来！！以前买过，用了很多年，突然不好了，干脆再买个新的吧！性价比很高！
上午下单，下午不到晚上就到了，配送超快，当地大库发货就是方便，拿着比较轻希望耐用，读盘静音快速，刻录快也很静音，数据写入平稳，没有送刻录软件和数据线，价格便宜，用原有的Nero9赠送版本能识别出新光驱，面板简洁。
很久没有用过光驱了，现在小孩的学习资料很多是光盘，所以买一个用用，老牌光驱品牌，不错，很好用，如果能配套方便使用的刻录软件就更好了
当然，作为实验性工具，MET也是在不断发展的，第一代MET工具NA0.3的数值孔径，对应于ASML的第一代NA0.33 EUV光刻机；第二代MET工具具有NA0.5的数值孔径，对应于ASML的第二代NA0.55EUV光刻机