所以如果有人解读中国已经有每小时曝光10-20晶圆的EUV原型机,它大概率是把DUV当作了EUV
而第二代MET工具通常命名为MET-5,它经常出现在我的帖子里
美国加州劳伦斯伯克利实验室的MET-5极紫外曝光系统国内关于长春光机所的MET资料有限,我们不妨拿2005年的美国加州劳伦斯伯克利实验室的MET工具的性能做一个参照
当然,作为实验性工具,MET也是在不断发展的,第一代MET工具NA0.3的数值孔径,对应于ASML的第一代NA0.33 EUV光刻机;第二代MET工具具有NA0.5的数值孔径,对应于ASML的第二代NA0.55EUV光刻机