由于光刻机的体型过大,ASML虽多次参展,但并未带过真实的光刻机到进博会现场
今年该公司通过元宇宙视角展现其“铁三角”业务,包括配备先进工艺控制能力的光刻机台、计算光刻、光学及电子束量测,观众可以“亲身”进入无尘室,近距离接触光刻机
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