年耗电1000万度
EUV有多耗电?由于EUV光源的能源转换效率只有 0.02% 左右,所以输出功率只有250W的EUV光刻机,实际需要0.125万千瓦的电力,耗电量是DUV光刻机的10倍以上
这样下来,一台EUV一年耗电量可达到1000万千瓦时
所以目前台湾省内很多媒体,对台积电也不太满,觉得岛内对台积电扶植过度了,毕竟台湾省幅员狭小、能源有限,而台积电高耗电、高耗水量,对居民用电、电水造成了紧张
同时目前台湾省本身资源紧张,电力供应紧张,新增的电量,很多往台积电倾斜了,还未必能够满足台积电未来产能扩张的需求,让大家对未来担忧