而中国不可能得到欧美的帮助,也不可能获取到全球最顶级的设备零件,事实上和光刻机有关的零件,美国全部向中国断供
那中国真的就造不出来EUV光刻机吗?并不是,只不过速度要更慢,因为中国要造EUV光刻机,就连一颗螺丝钉都要自己造
中国的目标,是要在2030年造出EUV极紫外光刻机,大家可能觉得,ASML2010年就已经开始量产光刻机,这会不会太晚了,事实上,这并不算太晚,我们通过不断地缩小所采用的光源的波长(EUV光源13.5nm),增强投影物镜的最小线条成像能力(提高数值孔径1.3)等方式,不断缩小能够加工的最小线宽