有了镜头,当然还需要光源,光刻机里的光源技术是来自美国Cymer公司
想要产生波长为13.5nm的极紫外光,其实是一个比较复杂的过程
简单来说,就是用20kw的激光,不断轰击从空中滴落的液态锡珠
这些液滴的直径非常小,只有20微米,大概相当于头发丝直径的1/3,并且液滴在真空环境中是处于自由下落的状态
那么阿斯麦的光刻机,凭什么能卖那么贵?光刻机制造难点熟悉《星球大战》的朋友都知道光剑吧,在那个主题设定里,光剑可是一种高科技武器
同样,在光刻机里,也有一把“光剑”,它能在晶圆上刻画芯片电路,这是芯片生产最基础也最关键的一环