3纳米代工市场规模2026年将达到242亿美元,比今年(12亿美元)增加20倍以上
目前,三星电子是唯一一家宣布成功量产3纳米的企业
三星电子、台积电、英特尔等主要半导体企业开始引进EUV设备,随着工程技术的发展,预计3纳米将成为核心先进工艺
ASML正在准备向客户交付首台High-NA EUV光刻机,大概会在明年某个时间点完成
据悉,High-NA EUV光刻机会比现有的EUV光刻机更为耗电,从1.5兆瓦增加到2兆瓦
主要原因是因为光源,High-NA使用了相同的光源需要额外0.5兆瓦,ASML还使用水冷铜线为其供电