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光刻机维修培训,2nm、1nm全靠它!High-NA EUV光刻机2025年末将正式商用

3纳米代工市场规模2026年将达到242亿美元,比今年(12亿美元)增加20倍以上

目前,三星电子唯一一家宣布成功量产3纳米的企业

三星电子、台积电、英特尔等主要半导体企业开始引进EUV设备,随着工程技术的发展,预计3纳米将成为核心先进工艺

ASML正在准备向客户交付首台High-NA EUV光刻机,大概会在明年某个时间点完成

据悉,High-NA EUV光刻机会比现有的EUV光刻机更为耗电,从1.5兆瓦增加到2兆瓦

主要原因是因为光源,High-NA使用了相同的光源需要额外0.5兆瓦,ASML还使用水冷铜线为其供电

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2nm、1nm全靠它!High-NA EUV光刻机2025年末正式商用

为什么需要高NA光刻机从今年发布的不少新品来看,即便工艺没有太大的变化,芯片的性能仍在稳步提升,有的是从架构上找到了创新,有的选择了改善带宽之类的性能

但我们也都能看出,其中有一部分产品选择了走大规模的路线,比如苹果的M1 Ultra

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所谓high-NA即高数值孔径,从当前的0.33提升到0.55,从而允许更紧密的电路图案(2nm及以下)和更高的生产效率

据报道,高NA EUV光刻机系统的单台造价将在3亿到3.5亿欧元之间,约合人民币21.95到25.61亿元

光刻机维修培训,2nm、1nm全靠它!High-NA EUV光刻机2025年末将正式商用

特别是用于生产制造2nm、1.8nm等制程的High-NA EUV光刻机初期版本将于明年年末引进,预计2025年末将正式商用

ASML明年交付首台High-NA EUV光刻机ASML首席技术官Martin van den Brink日前受访时表示,目前公司正有序推行其路线图,在EUV之后是High-NA EUV技术

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