美国加州劳伦斯伯克利实验室CXRO主任值得一提的是,2005年发表这篇论文的帕特里克·诺洛(Patrick Naulleau)当年是纽约州立大学的副教授,他现在是加州劳伦斯伯克利实验室CXRO的主管,CXRO实验室正在为下一代NA0.55 光刻机开发关键配套材料
极紫外光刻研究的4个阶段在谈六镜极紫外光刻投影物镜之前,有必要回顾EUV光刻机发展历史,简而言之,在德国蔡司长达30年的极紫外EUV光学研究历史里,有4个里程碑的阶段,包括:1,2003年之前的两镜头曝光装置(MET);2,2006年的六镜头EUV演示工具(ADT);3,2009年的第一代六镜头 NA0.33 EUV光刻机;4,明年即将推出的第二代六镜头 NA0.55 EUV光刻机