△上图显示了跨 硅 表面的线扫描,其中有几个扰动导致轮廓 E 中的电流误差,其中控制回路是标准 PI 回路
在配置文件 F 中,自适应控制回路打开,并且尖端扫描同一行
更准确的电流控制可提供更准确的轮廓,并且当表面扰动较大时,可避免尖端碰撞
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