滨州经济技术开发区慧泽电脑服务中心

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光刻机为什么难制造

我国号称世界工厂，中国出口的小家电约占全球的47%，出口的电脑约占全球的57%

作为光刻机金字塔最顶尖的企业，ASML的成立本身就是早期西方资本从东芝、索尼口中夺食并垄断全球光刻机、芯片市场的产物

尤其当老美扯下“科技无国界”的遮羞布，ASML所扮演“棋子”的角色也愈发凸显

2018年中芯国际向ASML订购了一台EUV光刻机，因为受到禁令的限制，这台本应2019年就该到货的EUV光刻机至今没有交付，即便是二手渠道也被卡得死死的

光刻机制造难度有多大

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不过也有人称，光刻机所指的精度，并不是指能制造芯片的精度，光刻机可以通过多次曝光，提升分辨率的，那么问题就来了，上海微电子的90nm光刻机，最多能生产多少纳米的芯片？据资料显示，目前上海微电子的90nm的光刻机，主要用于电源管理芯片、LCD驱动芯片、WiFI芯片、射频芯片、各类数模混合电路等

因为实践表示，3次曝光会导致良率大幅度下降，4、5次良率可能会低到没法想象，晶圆厂们的成本高到没法承受，不如买一台更高级光刻机，成本还低一些

所以，目前国内在努力的研发28nm的光刻机，这样经过两次曝光后，可以搞定14nm，至于7nm工艺，那最好还是期待EUV光刻机，用28nm的来曝光三次，良率没法看

当然，目前NIL光刻机还不能与EUV光刻机相比，NIL光刻机远远达不到EUV的精度，但未来能可就说不准了

DSA光刻，目前没有一定特定的厂商在下注，就像佳能对于NIL技术一样

但如下图所示，在NIL、EUV、DSA三大光刻机上，巨头们都早已布局了

制造电脑芯片用光刻机吗

这对于一般的晶圆企业而言，是不可承受的成本，所以一直以来，业界都探讨EUV光刻机的替代方案

目前已经被确定的替代EUV光刻机的方案已经有三种，分别是1、纳米压印光刻（NIL）；2、直接自组装（DSA）光刻；3、电子束光刻（EBL）

那么问题来了，为何ASML在半导体领域无法被替代？其实原因很简单，ASML并不是一家企业在战斗，甚至也不是一个国家在战斗，ASML是整合了全球的先进工艺，将美、欧、日、韩、台绑在一架战车上，大家一起战斗，攒局无敌

二是找到能够一批上、下游都能够替代的厂商，这就更加困难了，所以其它的光刻机企业，在EUV这个赛道上，是不太可能与ASML竞争的，除非换赛道，以另外一种技术试

目前佳能是押宝纳米压印光刻（NIL）技术，而美国有企业在在搞电子束光刻机(EBL)，还有企业在研究直接自组装（DSA）光刻，X-射线光刻等，都是绕开EUV技术

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芯片是干什么用的？这个问题可能有人会笑，意思是太初级，太简单；是的，芯片的用途有人可能不知道，但是，全世界的每个人几乎都在用芯片，这话没夸张，是实话！芯片的用途：手机、高铁、汽车、电网、家用电器、医疗设备、各类自动化设备等芯片的作用：进行运算，处理各类任务，输出数据和指令

光刻机到底能用来干啥?制造难度究竟多大

图为光刻机最近几年以来，中国因美国下达的禁令在许多领域都遭遇了阻碍，其中最为明显的就是芯片领域，美国不光要求国外芯片代工企业停止为中国服务，同时还向AMSL施压，向中国实施光刻机禁运，就连中国此前已经订购的DUV光刻机，也被美国强行扣下，由于缺少AMSL的光刻机，中国国产芯片的生产举步维艰，欧美如此百般阻扰中国，那么光刻机到底能用来干啥？制造难度究竟有多大？AMSL，指一家荷兰半导体企业，是目前全球最大的半导体设备制造商之一，全球精度以及效率最高的高端光刻机均出自该企业之手

中国作为目前世界上的第二大经济体，在很多高精尖领域都引领着技术的发展，但有一样象征着工业强国的科技产品，我国始终无法完成自产，这就是EUV光刻机

   光刻机的含金量目前全世界能够制造EUV光刻机的国家只有两个，荷兰和日本

光刻机的技术难点先进光刻机制造的第一个难点就是机器的光源问题，在EUV光刻机问世以前，DUV光刻机是世界的主流，二者最大不同在与将DUV上193纳米的短波紫外线改为了13.5纳米的极紫外线，光刻机精度取得了跨越式发展

光刻机是芯片制造中必不可少的核心设备，简单来说可以分为用于7nm及更先进制程的EUV光刻机和用于10nm~130nm的DUV光刻机

其中前者一直对国内处于禁售状态，时至今日国内也没有一台EUV光刻机

ASML发出警告因此对于美方试图扩大DUV光刻机禁令的决定，全球最大的光刻机厂商ASML也表示了明确的反对

国内芯片产业的发展对于全球科技产业也有着积极的推动作用，在一定程度上缓解了全球缺芯的问题

DUV光刻机也可能禁售但是在国内芯片产业快速发展的时刻却传出来不和谐的声音，据彭博社传来消息，在EUV光刻机禁售之后，美正在推动将销售禁令扩展到DUV光刻机，而这对于国内芯片产业来说也将造成不小的影响

据说这样一台光刻机设备，要人民币30亿元

全世界生产光刻机最权威、最领先、最具实力的企业，就是荷兰的ASLM公司这家公司不是单兵作战，背后有美国和欧盟的强力支持光刻机的生产部件来自很多国家，有一万多部件组成

还有日本两家公司也生产：佳能、尼康

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