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显然,这里提到的三个逻辑晶圆厂应该是英特尔、台积电和三星,两个存储晶圆厂应该是三星和SK海力士
△ASML首个High-NA EUV光刻系统虽然,三星和SK海力士尚未公开证实这一点,但消息人士表示,他们已经向ASML下了订单
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也就是说如果要制造1.8nm以下的芯片,可能EUV光刻机就无法胜任了,要推出全新一代技术,至于是什么技术,目前业界还没有定论
目前美国有公司推出了EBL电子束光刻机,可以生产0.768nm的芯片,但无法大规模量产
而俄罗斯在研究X射线光刻机,没有光掩模板,直接光刻,据称可以用于1nm芯片,但没有样品出来
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面对这种局面,想要解决光刻机技术难题就只能靠我国自己了,不过过去十几年我国在光刻机研发上也投入了很多,但是取得的效果并不是很明显
目前我国国产光刻机最先进的是由上海微电子设计出来的28纳米光刻机,而且目前还没有正式量产,这跟ASML的EUV光刻机差距是非常大的,跟他们即将量产的新一代EUV光刻机差距更大
对英特尔、台积电以及三星这些头部芯片制造商来说,拥有最顶尖的光刻机,他们生产出来的芯片性能要领先其他厂家一大截,如此一来,其他厂家根本就没有竞争优势
读盘速度:十分快 读盘声音:小 稳定性能:十分不错 轻薄程度:刚刚好 外形外观:美观 产品包装:很好
我们国家在4年前,曾经研制出一种特别的光刻机,但是很少有人知道,它的名字叫超分辨率光刻机,这台光刻机可是哟经365nm波长实现22nm工艺制程,通过多重曝光等手段,还可以实现10nm以下的工艺制程
在此基础上,项目组还结合超分辨光刻装备项目开发的高深宽比刻蚀、多重图形等配套工艺,未来能够实现10纳米以下特征尺寸图形的加工
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