据中国电子专用设备工业协会和国际半导体产业协会的数据统计,2021年中国半导体设备市场销售额为187.2亿美元,同比增长39.2%,但中国半导体设备国产化率仅为20.2%
近年来,国内多家企业已在光刻机领域攻关
有媒体称,上海微电子公司已经可以实现90纳米光刻机的商业化生产,并且正在向着全球先进水平继续开展研发,但仍需要一定时间
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