而更重要的是,芯片的前道工序非常重要,并且是几百种设备相互配合,而这些生产设备以国外的产品为主,所以国外的光刻机能够相互配合兼容,这是大家多年来合作的结果
而国产光刻机的也许能用,精度也达到了,但晶圆厂们一般情况下可不会冒险,在有国外的、能兼容匹配的国外设备可买的情况下,就不会买国产的,一旦出了问题,就损失惨重
大家都知道光刻机是芯片制造过程中,最重要的设备之一
但大家不清楚的是,光刻机也分前道光刻机,后道光刻机两种
前道光刻机,主要是指将芯片电路图,光刻到硅晶圆上的光刻机,也就是芯片制造的前道工序号需要的光刻机,也称之为前道光刻机,其中又分EUV光刻机、DUV光刻机,UV(i-line)光刻机