滨州经济技术开发区慧泽电脑服务中心

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EUV有多耗电？由于EUV光源的能源转换效率只有 0.02% 左右，所以输出功率只有250W的EUV光刻机，实际需要0.125万千瓦的电力，耗电量是DUV光刻机的10倍以上

这样下来，一台EUV一年耗电量可达到1000万千瓦时

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更重要的是，EUV光源能量转换率为0.02%，另外的99.98%电能会变成热量散发出去，又需要大量的设备来降温散热，这又要耗电

台积电的数据显示，2021年能源消耗量为191.9亿度，约占台湾的7.2%

而深圳有1800万深住人口，2021年居民用电量也仅为165.5亿度左右，这就是说台积电的耗电量，可以让深圳的居民用一年