此前清华大学机械工程系朱煜教授带队的清华大学研发团队就已研发出光刻机双工作台,由此中国成为全球第二个可以生产双工作台的国家;此外激光头、镜头等厂商也陆续生产出先进的组件,各个产业链企业的努力正逐渐完善国内的光刻机产业链
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近日国内光刻机产业链的企业之一,传芯半导体公开宣布已经20余项EUV光刻机技术专利,加上此前在激光光源、工作台、镜头等方面所取得的成果,国产EUV光刻机已取得了重大进展,或许数年后国产EUV光刻机就将量产,这正让ASML后悔莫及