中国为什么不买光刻机
2021年,ASML的EUV光刻机一共只卖出了42台,实际上市场上的需求达到了60多台,但ASML就是不生产这么多出来
为此,其它厂商也在不断的努力,想换道超车,通过其它技术,来替代EUV光刻机
目前已经有三种方案,在有进,分别是:1、纳米压印光刻(NIL);2、直接自组装(DSA)光刻;3、电子束光刻(EBL)
ASML表示,他们计划将产能增加到 90 个 EUV 和 600 个 DUV 系统(2025-2026 年),同时还将 High-NA EUV 产能增加到 20 个系统(2027-2028 年)