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光刻机_雕刻机_曝光系统

中国的光刻机制造商有哪些,国产光刻机往事:难

  人的潜力,在中国第一代光刻机从业者身上发挥到极致

  没有资料,只能靠自己摸索,徐端颐和团队成员边干边学,没日没夜地加班攻关,终于在1980年造出了国内第一台投影光刻机

  1985年,中科院45所在光刻机领域取得了重大进展,研制出分步投影式光刻机,被认定达到了1978年美国GCA公司推出的光刻机水准

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