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光刻机_雕刻机_曝光系统

国产光刻机强势来临,有多贵?ASML新EUV光刻机单台硬件造价:向顶级战机看齐节奏

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都知道光刻机单台成本非常的贵,但是你知道有多贵吗?一台数亿美元的光刻机让我们看到了一款硬件设备的价格极限,然而,ASML CEO Peter Wennink最新接受媒体采访时透露,他们正在全力研制划时代的新光刻机high-NA EUV设备,而高NA EUV光刻机系统的单台造价将在25亿元(单台造价在3亿到3.5亿欧元之间,约合人民币21.95到25.61亿元)

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国产光刻机强势来临,发力NIL技术

发力NIL技术

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所谓NIL技术,是将三维结构的掩膜压在晶圆的感光材料上,同时照射光线完成一次性转印,被称为是最有前景的光刻技术之一

目前在NIL的专利上,佳能一支独秀,远超其它任何厂商,并且佳能的NIL光刻机不仅仅是停留在纸面上,而是已经有有生产出来了,在2021年就有了成品,并且被铠侠应用于NAND闪存的生产

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