并且Zyvex还接受电子束光刻机订单,称只需要6个月就可以交货,很明显,这种技术也能够替代EUV光刻机,唯一的用这种方式,速度非常慢,但后期还有改进空间
第三大方案则是自组装(DSA)光刻,所以谓的自组装光刻,就是用一些化学物质,诱导光刻材料在硅片上自发组成我们需要的结构,中间不需要光刻机参与
佳能一直非常重视NIL纳米压印技术,甚至在2021年就造出了机器,被铠侠用于NAND闪存制造中,只不过目前精度还不太够,不能替代EUV光刻机
但在NIL技术上,佳能的专利最多,技术最成熟、最先进,很明显,佳能就押注这个技术了