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先锋蓝光刻录机己收到,质量很不错。物流送货上门,非常方便,很好,安装到位,正在调试,物流也很快。昨天下午下单,今天上午就到了
3种替代方案
EBL电子束光刻机,大家可能熟悉了,前段时间美国公司Zyvex,就搞出了一台电子束光刻机(EBL),并制造了768皮米(0.768nm),不过这种光刻方式速度慢,不可能用于在规模芯片制造