光刻机对准技术的专利概况分析
佳能近日表示,接下来会研发新一代的NIL光刻机,新一代的NIL光刻机,有可能应用于28nm甚至14nm及以下的工艺
当然现在的问题是,能够媲美EUV光刻机的NIL光刻机,究竟会在什么时候面市,如果佳能能够实现这个技术,全球的半导体格局都有可能生变
发力NIL技术
非常好,便宜实惠,安装方便,不用任何驱动,内置光驱比外置的寿命长,就是携带不方便,是sata接口的,没有数据线,物流速度非常快!
众所周知,目前芯片的制造流程中,光刻机是必不可少的设备,且从成本来看,光刻机占所有半导体设备成本的20-25%