由此我们也可以看到ASML的“幺蛾子”——那就是你能造的光刻机我们就卖给你,但是你造不出来的光刻机那就继续卡着你
高端EUV光刻机也必须从低端开始积累技术,目前国产光刻机厂商好不容易才突破了28nm,而ASML降价销售的策略无疑会对国产光刻机的销售造成极大的影响
为了完成光刻机的研发需要多个部门和机构协同合作,国内多个顶级研究院以及大学都参与到了光刻机的研发之中
国产光刻机除了上述已知的企业和研究所之外,还有更多的科研机构在默默地进行着光刻机技术的研发和突破,也正是在齐心协力之下,第一台可用于28nm芯片制造的国产光刻机也有望于近期亮相