但也别那么绝对
从路线图来看,TWINSCAN EXE:5200预计最快2024年底投入使用,2025年开始大规模应用于2nm甚至以下先进制程的生产
国外曾有分析师直言,“我敢打赌,英特尔为这一权利花了很多钱,因为他肯定不是唯一想先得到这种机器的公司”
目前,台积电等生产7nm-5nm制程的芯片采用的都是0.33 NA EUV光刻机,而第一代0.55 NA光刻机TWINSCAN EXE:5000还在研发过程中,预计2023年上市
早在2018年,英特尔就率先向阿斯麦下单第一代0.55 NA EUV光刻机,该公司也有望成为首个0.55 NA EUV光刻机的使用者,并将其用于3nm及以下制程