中国的光刻机产业链发展得如此缓慢,在于早期中国考虑到先进技术可以通过在海外购买的方式实现,因此导致国产的光刻机即使生产出来也没有厂商愿意使用,毕竟国产光刻机在技术方面不如海外企业
国产光刻机龙头上海微电子成立于2002年,其实它发展光刻机的时间不并不ASML晚太多
光刻机的难度相当大,在于它自身就是一个庞大的产业链,DUV光刻机的重量达到500公斤,由1万多个元件组成;EUV光刻机更是重达180吨,由10万多个元件组成,正是因为它的复杂性,所以ASML自身无法生产所有元件,需要由德国、美国、日本等全球诸多产业链企业配合才能生产出光刻机