而阿斯麦方面也预计柏林火灾不会对其2022年的系统出货产生重大影响
从2018年开始,阿斯麦就试图向中国大陆销售EUV光刻机,希望进一步进入中国大陆市场,但荷兰政府一直未批准其出口许可申请
在美国的持续施压之下,这一请求已被荷兰官员搁置
目前,台积电等生产7nm-5nm制程的芯片采用的都是0.33 NA EUV光刻机,而第一代0.55 NA光刻机TWINSCAN EXE:5000还在研发过程中,预计2023年上市
早在2018年,英特尔就率先向阿斯麦下单第一代0.55 NA EUV光刻机,该公司也有望成为首个0.55 NA EUV光刻机的使用者,并将其用于3nm及以下制程