佳能一直非常重视NIL纳米压印技术,甚至在2021年就造出了机器,被铠侠用于NAND闪存制造中,只不过目前精度还不太够,不能替代EUV光刻机
但在NIL技术上,佳能的专利最多,技术最成熟、最先进,很明显,佳能就押注这个技术了
三种EUV光刻机替代方案
这种方式比传统光刻分辨率更高,加工速度也不受影响,但它对材料控制的要求特别高,目前还没有成熟的解决方案,还处在实验室阶段
而对这一技术研究较深的是比利时微电子中心、麻省理工学院,他们都建立了自组装产线,进行相关研究,三星在DSA上申请的专利最多,也非常重视这一 技术