曝光系统被置于真空罩中
在这个系统里,最核心的投影光学部分(MET projection optic)主要涉及超高精度非球面加工与检测、极紫外多层膜、投影物镜系统集成测试等关键技术,而这些也是长春光机所02专项的核心工作
中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源
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