2005年美国加州劳伦斯伯克利实验室的NA0.3的MET工具因此,从这一非常具体的实例来作为比较,并且只从曝光工具的单一指标(我们忽略系统性工作能力、技术储备、制造工具储备等)而言,我们在2017年的02专项极紫外曝光光学的验收成果,接近2005年劳伦斯伯克利实验室的NA0.3的MET工具的曝光线宽
全世界最好的光刻机
读盘速度:很快很强 读盘声音:比较轻 稳定性能:性能稳定可靠,容错能力强 外形外观:很好看 轻薄程度:适中 产品包装:精致
中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源
读盘速度:快, 外形外观:漂亮 读盘声音:很轻 稳定性能:目前使用稳定性好 产品包装:包装精致
极紫外光刻研究的4个阶段在谈六镜极紫外光刻投影物镜之前,有必要回顾EUV光刻机发展历史,简而言之,在德国蔡司长达30年的极紫外EUV光学研究历史里,有4个里程碑的阶段,包括:1,2003年之前的两镜头曝光装置(MET);2,2006年的六镜头EUV演示工具(ADT);3,2009年的第一代六镜头 NA0.33 EUV光刻机;4,明年即将推出的第二代六镜头 NA0.55 EUV光刻机
第一次买刻录机,担心尺寸和电脑不符,买回来可以装,很高兴,质量很好,京东的客服人员也非常好,遇到问题还亲自打电话过来帮我解答,让我没有后顾之忧,有一些不懂还要继续学习,性价比很不错,是正品,包装也很结实。 稳定性能:好 产品包装:好 外形外观:好
王丽萍研究生在读时,于2007年发表了1篇EUV光刻光学设计的论文,涉及两镜头微缩投影系统:《极紫外投影光刻两镜微缩投影系统的光学设计》
王丽萍2007年发表论文在这篇论文中,给出了一套MET工具的光学设计图,其数值孔径NA0.3,分辨力优于32nm、矩形视场为 300μm×500μm
2005年美国加州伯克利劳伦斯实验室的NA0.3的MET工具这篇论文给出了一份测试结果,展示了30nm和25nm的等线宽线距(L/S)的曝光能力,可以看到30纳米等L/S曝光结构非常清晰
而曝光28.8纳米的独立线条,仍可以获得非常高精度的曝光图案
刻录机一直买先锋,刻盘成功率高,废盘很少,买刻录机就买先锋。这款刻录机外观简洁大气,做工很好,使用也非常好,读取刻录都很棒,还没刻过坏盘!
曝光系统被置于真空罩中
在这个系统里,最核心的投影光学部分(MET projection optic)主要涉及超高精度非球面加工与检测、极紫外多层膜、投影物镜系统集成测试等关键技术,而这些也是长春光机所02专项的核心工作
挺不错的,物美价廉到货快,之前在京东买过两台同款的,确实很不错,这次趁活动再买三台囤着备用,还未启用。虽然说CD DVD刻录技术早已成熟,然而自从以前的先锋115CH刻录速度变慢以后(没飞过盘,只是刻录速度变慢),实体店买过两台某星的,那真是一塌糊涂,各种飞盘,刻录出来的数据面颜色都不均匀,也很难读取,没用几次就弃用了。之后看到京东自营有先锋的了,就买回先锋的,就这款,刻录声音很小,出盘的质量很高。虽然价格比以前便宜了,但质量确实没有缩水,这里面可能也是存在一点黑科技的。挺好的,应该还会再买。