紫外深度光刻机
11月29日,上海鼎泰匠芯科技迎来首台ASML光刻机,交付仪式已经在上海临港新片区举行,这是在美国采取措施之后,ASML首次向中国企业供应光刻机,凸显出ASML开始硬扛美国
ASML反水,在于此前它完全顺从美国,然而美国芯片企业却在绕开它的EUV光刻机
先是美国芯片企业美光已研发绕开EUV光刻机的1β工艺,这项工艺比采用EUV光刻机降低了六成的成本,存储密度、功耗等指标也更优秀
更让ASML忧心的是全球芯片行业的变化,全球芯片行业已从过去两年的火热迅速陷入冰点,最大的EUV光刻机采购客户台积电已关闭部分EUV光刻机,甚至还将部分EUV光刻机从中国台湾转运至美国的5nm工厂