不再向美限令妥协!首台ASML光刻机已搬入中企
据悉,建设包括FAB生产厂房(含洁净室)、OS生产调度及研发大楼、CB综合楼、WH仓库、CUB动力站等大型群体工程
其中,FAB生产厂房作为本工程最大规模单体,建筑面积达104085.98平方米
待该项目全面达到预期产能后,可实现年产能约36万片12英寸功率器件(POWER MOS)晶圆片,主要生产MOSFET、GaN FET、SiC FET等功率器件产品
光刻机有多少台
▲ ASML首席执行官Peter Wennink正如ASML首席执行官Peter Wennink在今年7月披露财报时表示:中国大陆是半导体行业的重要参与者,是全球市场非常重要的供应商