在第一季度,我们收到了多份 EXE:5200 系统的订单
我们这个月还收到额外的 EXE:5200 订单
我们目前已有来自三个逻辑芯片和两个存储芯片客户的高 NA 订单
EXE:5200 是 ASML 的下一代高 NA 系统,将为光刻技术的性能和生产力提供下一步的发展
另据韩媒 Business Korea 报道,三星电子正计划通过在未来三年内打造 2 纳米 GAA(Gate-all-around)工艺来追赶台积电
随着 0.55 NA EUV 光刻机量产提上日程,芯片厂商的“2nm 工艺战”也将彻底打响