在硅基芯片制造中,光刻机是最重要的设备之一,它的总成本占全部设备成本的25%左右,光刻所需要的工时,占所有工时的30%左右
当然,光刻机重要,并不仅仅是因为它贵,而是因为能够生产它的企业不多,全球也就4家,分别是ASML,佳能,尼康,上海微电子
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