近日美国一家旨在开发和商业化原子精密制造 (APM) 技术的公司Zyvex Labs 宣布推出了全球分辨率最高的亚纳米分辨率光刻系统“ZyvexLitho1”,其并没有采用EUV光刻技术,而是基于STM扫描隧道显微镜,使用的是电子束光刻(EBL)方式,可以制造出具有0.768nm线宽(相当于2个硅原子的宽度)的芯片,精度远超EUV光刻机
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2007 年 4 月,Zyvex Corporation 重组为三个独立的公司,以确保持续专注于产品:Zyvex Performance Materials LLC、Zyvex Instruments LLC 和 Zyvex Labs LLC