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光刻机_雕刻机_曝光系统

6个月可交货,芯片晶圆加工用光刻机吗

△ZyvexLitho1系统无失真成像:Zyvex Labs称ZyvexLitho1系统拥有专有的蠕变和滞后位置校正算法,支持无失真成像和原子级精确的尖端定位,以实现前所未有的光刻精度

△在200秒完成500nm跳跃后的未修正蠕变vs.蠕变修正后自适应电流反馈回路:所有商业 STM 都使用相同的比例积分 (PI) 回路来升高和降低 STM 尖端,因为它扫描以保持设定点电流

早期,Zyvex Corporation 对 APM 进行了基础研究,并经常在此过程中构建自己的工具

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