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众所周知,在当前的芯片制造环节中,光刻是其中一个必不可少的重要环节
而光刻就需要用到光刻机,而7nm及以下芯片的光刻时,就需要用到EUV光刻机
同时EUV光刻机成本非常高,一台EUV光刻机售价超过10亿元,最新的0.55数值孔径的EUV光刻机,价格更是超过3亿美元(20亿元)
而台积电、三星这两大晶圆巨头,则是NIL、EUV、DSA三大光刻技术,都是做了准备,不过EUV光刻的专利相对多一点,再是NIL,最后是DSA
蔡司作为EUV光刻机的重要供应链,主要还是发务EUV,专利上占到了353件,而NIL也有38件,DSA则为0
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3种替代方案
中国能生产多少纳米的光刻机
刚收到了就使用,非常好用,接上就能用,方便好用,质量保证。物流给力。宝贝性价比很高,质量做工很好,安装简单方便,接口兼容性比较好,推荐购买!
读盘声音:声音小 轻薄程度:比较有质感 外形外观:质量看着很好 产品包装:包装完美 读盘速度:运行快 稳定性能:特别稳定
EBL电子束光刻机,大家可能熟悉了,前段时间美国公司Zyvex,就搞出了一台电子束光刻机(EBL),并制造了768皮米(0.768nm),不过这种光刻方式速度慢,不可能用于在规模芯片制造
而纳米压印光刻技术,目前被佳能押注,目前佳能已经能够提供NIL光刻机,比如东芝,就一直想用NIL光刻机来生产NAND闪存,同时在NIL光刻专利中,佳能遥遥领先
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用了多年先锋刻录机,相信它的质量,到手发现很小巧玲珑,方便携带,试刻了一张,很好,和win7兼容的很好,自动安装了驱动,系统直接就可以刻录,做工也不错!
先锋外置刻录机很快到货,还没试用。以前买过好几台先锋光驱和刻录机,挺好用。不是第一次买了,这个品牌真是刻录机中的第一品牌,上一个用了5年,终于到年头可以换了,好用的很!好评!
当然,目前NIL光刻机还不能与EUV光刻机相比,NIL光刻机远远达不到EUV的精度,但未来能可就说不准了
DSA光刻,目前没有一定特定的厂商在下注,就像佳能对于NIL技术一样
但如下图所示,在NIL、EUV、DSA三大光刻机上,巨头们都早已布局了
买来用上了,很合适,这是我第二次买这个刻录机。很是信任。 读盘速度:很快 读盘声音:声音较小。 稳定性能:刻盘很方便。 外形外观:外形包装也很美观简约等等。反正就是喜欢。
这对于一般的晶圆企业而言,是不可承受的成本,所以一直以来,业界都探讨EUV光刻机的替代方案
目前已经被确定的替代EUV光刻机的方案已经有三种,分别是1、纳米压印光刻(NIL);2、直接自组装(DSA)光刻;3、电子束光刻(EBL)