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光刻机制造难道有多大
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在当前全球化背景下,对别国搞技术封锁、技术脱钩,这只会让其他国家更加警醒,在技术上一味依靠美国行不通,也会促使各国加快实现科技自主自立自强
受此消息影响,ASML的美国存托凭证(ADR)跌幅高达8.3%,为2020年3月以来最大盘中跌幅
天眼查数据显示,继2021年6月,华为旗下的哈勃投资公司入股中科院微电子所控股、国内第一的193nm ArF准分子激光器光源系统企业“北京科益虹源”之后,今年4月,华为哈勃再度投资光源相关产业,入股光电模块零部件公司“微源光子(深圳)科技”
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1997年,ASML加入英特尔和美国政府牵头成立的EUV LLC联盟当中
该联盟汇聚了美国顶尖的研究资源和芯片巨头,包括IBM、AMD、摩托罗拉等,集中数百位顶尖科学家,共同研究EUV光刻技术
随后在2007年起,ASML陆续收购美国Brion、Cymer、HMI等公司,增强了在光刻、光源、电子束检测等方面的技术储备,从而能够开展EUV技术攻克
DUV光刻机又有两大路线,其中一种就是ASML为代表的浸润式光刻机,以水为介质,采用193nm波长的光线,在水中折射后,变成132nm,而这种设备一次曝光可以生产45-28nm的芯片,价格比EUV便宜一半
媒体分析称,如果ASML被禁止对华出口DUV,其收入可能会萎缩5%-10%
那么,为什么ASML这样一家光刻机巨头企业,减少要屈服于美国的管制?根据中国科学院ICAC,背后主要有三个原因:1、美国在DUV、EUV技术方面渗入ASML
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美国要求荷兰对华禁售ASML光刻机
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