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尽管ASML作为目前占据主导地位的光刻机厂商,凭借独有的EUV光刻机一骑绝尘,主导着半数以上的市场份额,但这并不代表着其他光刻机厂商也就“听天由命”了
以两大国外光刻机厂商尼康和佳能为例,他们就仍在坚持开发并扩展自己的光刻机业务
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也造不出光刻机
不过佳能面临的处境还是组件短缺和客户延迟工厂建设,所以部分FPD光刻机的交付都被推迟到了明年
小结从尼康和佳能两家的财报来看,他们都没有屈服于ASML可怕的实力,仍在积极推动DUV光刻机、FPD光刻机的销售和交付,与此同时也都在低调地进行着下一代光刻系统的研究
除ASML之外的光刻机厂商们近况如何?
FPA-6300ES6a光刻机 / 佳能佳能与尼康一样,同样拥有影像和光刻机两大业务,但在光刻机上,佳能的主要产品是i线和KrF光刻机,其中主打高分辨率高产量的KrF扫描光刻机FPA-6300ES6a可以做到小于等于90nm的分辨率
虽然分辨率不高,但佳能正在以纳米压印技术打造下一代nm级的光刻机,以该技术打造的光刻系统制造成本将比EUV低40%,同时将运行功耗90%
不过这类设备目前仍在研发中,从目前已经展示的结果来看,还只能做到10nm工艺的图形化
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与此同时,佳能计划在宇都宫扩建一座新的光刻机工厂,用于加倍产能,进一步扩大在半导体光刻机市场的份额
至于面板市场,由于全球通胀和经济下行等原因,PC、电视和智能手机的销量下滑,全球市场相较去年会有所下滑
但佳能认为,从中长期角度来看,被用于各种产品中的OLED面板势必会带来显著的增长